電子芯片廢氣治理方案案例

發(fā)布日期：2022-10-10瀏覽次數(shù)：7155

　　電子芯片廢氣治理方案案例

　　電子廠廢氣包括二氧化硫，三甲胺，NOx，氮氫化合物，苯二甲酸二辛酯等。而產(chǎn)生這些廢氣的主要是產(chǎn)生于芯片或線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過程中。

　　電子制造業(yè)排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。

　　對電子行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)的設計選型，嚴格按照或地方的大氣污染物治理達標排放標準，以及企業(yè)廢氣參數(shù)（廢氣成分、濃度和風量數(shù)據(jù)等）設計廢氣處理方案。

　　針對電子行業(yè)VOCs排放特點采用相應末端治理技術，主要還是活性炭吸附法。吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90%.

　　電子廠廢氣治理工藝：

　　活性炭吸附濃縮催化燃燒：

　　通過80℃的熱空氣對吸附在活性炭表面的高濃度的有機廢氣進行高溫脫附，把脫附出來的高濃度的有機廢氣送達催化燃燒氧化爐進行285℃-400℃之間的高溫氧化形成二氧化碳和水達標排放。

　　為什么選用該廢氣處理設備？

　　催化燃燒設備凈化效率95%以上，適用于大風量，低濃度有機廢氣。加熱溫度280度，活性炭可重復利用，投入成本低，耗能低。

電子廠廢氣處理解決方案電子生產(chǎn)車間廢氣凈化達標治理方案

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